半導體潔淨室的微汙染物會對產品的品質和良率造成不良影響，因此需要快速定位和預警，並對它們進行識別。
我們的預警系統有以下優點：
靈敏度高：可以偵測 ppt 級濃度的化學物質。
識別能力強：通過化學物質的特徵質量，識別出複雜化合物的成分。
分析速度快：在幾分鐘內進行樣品分析，快速地識別和定位微汙染物。
檢測多種化學物質：同時量測揮發性有機物、酸、鹼氣態汙染物
等多種化學物質，具有很高的通用性和廣泛的應用範圍。
快速、靈敏、具有識別能力和通用性的分析儀器，適合應用於半導體製造過程中的
微汙染快速定位和預警。期望達到：節能、環保、高效、智能、潔淨之核心目標。