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​高科技廠房精密科技技術研討會講師

李祈延 (Chad Li)

李祈延 (Chad Li)

專案經理

聯宙科技 專案室

​學歷

•國立中央大學 物理學系 博士

經歷

    •聯宙科技 專案室 專案經理
    •精材科技 製程整合處 主任工程師
    •國立中央大學 物理學系 博士後研究員

​演講題目

微汙染快速定位與預警

​摘要


半導體潔淨室的微汙染物會對產品的品質和良率造成不良影響,因此需要快速定位和預警,並對它們進行識別。
我們的預警系統有以下優點:
靈敏度高:可以偵測 ppt 級濃度的化學物質。
識別能力強:通過化學物質的特徵質量,識別出複雜化合物的成分。
分析速度快:在幾分鐘內進行樣品分析,快速地識別和定位微汙染物。
檢測多種化學物質:同時量測揮發性有機物、酸、鹼氣態汙染物
等多種化學物質,具有很高的通用性和廣泛的應用範圍。
快速、靈敏、具有識別能力和通用性的分析儀器,適合應用於半導體製造過程中的
微汙染快速定位和預警。期望達到:節能、環保、高效、智能、潔淨之核心目標。

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