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高科技廠房淨零排放技術研討會講師

劉邦昱 (Roger Liu)

副處長

華懋科技股份有限公司業務一部

​學歷

    交通大學永續環境工程碩士學位
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​經歷

    2nm晶圓廠VOC建置案(F22,F21)
    5nm晶圓廠VOC建置案(美國AZ)
    參于多項專利:
    TWM599377U - 具雙轉輪之揮發性有機廢氣處理系統改良
    TWI823027B-節能型雙轉輪熱側旁通過溫控制系統及其方法
    TWM579252U-具高溫脫附的雙轉輪之系統改良

演講主題&摘要

VOC節能減碳及低氮氧化物排放解決方案技術分享

    Kinedizer LE 燃燒器採用燃氣分段與過量空氣預混作用.
    預混燃燒透過降低峰值溫度和氮化合物含量,從而抑制熱NOx和prompt NOx的生成。
    燃燒後的O2和NOx排放值必須連續監測與控制,而且如果要將NOx值降低到30ppm @ 3% corrected O2, 則流量控制閥組必須改用電子比調控制
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