由於半導體技術的快速發展，全球對晶圓生產的需求增加，導致電力消耗大幅上升。以台灣為例，電子產業的用電量從2018年的19.2%（511億度）增長到2023年的22.6%（631億度），五年間增長了23.4%。高耗能產業面臨減碳的壓力，企業必須識別碳排放的熱點並優先減碳。為此，北科大潔淨技術研發中心使用了能源轉換係數 (ECF) 計算器、SEMI S23 和 Fab 耗源模擬 (FES) 軟體來估算廠房的年運轉能耗，並將這些數據轉換成二氧化碳排放量，進行電力消耗和碳排放的分佈評估，以探索潛在的節能策略，達成能源效率和減碳目標。