半導體製程中，有部分流程需要以熱純水清洗晶圓，一般熱純水有中央供應與機台現地加熱兩種方式。
華邦電子採中央供應熱純水，須將一般純水經由三階段升溫，提供給製程機台使用。
華邦於此次新建廠，首次導入高溫熱泵，將機台廢熱回收至純水端加熱，同時減少熱水鍋爐瓦斯用量，並減少冰機能耗，大幅減少碳排放。
熱純水系統數據收集關鍵指標製做，調整機台達到能耗降低。