1.處理晶圓製程廢水過程中，碳排主要來源為化學品、用電與耗材。因廢水特性，處理過程會使用大量化學品，去除廢水中有害物質。廢水處理造成之碳排貢獻，占比最高為化學品，約占廢水處理碳排8成以上，其中氫氟廢水使用之氯化鈣貢獻最高，其次為氫氧化鈉和聚氯化鋁，分別為廢水處理用化學品碳排貢獻前三大項，故欲降低化學品碳排，需針對前三大化學品進行減碳改善。
2.利用AI輔助，控制氫氟酸廢水處理系統投藥量，達到化學品減量之目的。