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王政和

王政和

台灣美光晶圓科技

廠務空調 課經理

學歷

台灣科技大學機械工程系

經歷

南亞科技/華亞科技廠務空調

美光科技廠務空調

111年全國模範環境保護專責及技術人員

專題演講

MAU節能減廢創新設計-預水洗技術結合冷凝水回收之高效應用

摘要首次將 MAU 導入 pre-washing 設計,藉由外氣預水洗設計,可得到“節能”、”減廢”、”節水”、”AMC 去除”、”無塵室溫溼度穩定” 五大效益:

    (1) 節能效益:以噴霧冷卻技術為理論基礎,結合冷凝水回收水機制,有效達成外氣降溫減焓、減少冷凍水耗用量。

    (2) 廢棄物減量:以預水洗設計取代既有前置/袋式濾網,具備相同過濾效率,達成零濾網廢棄物產生。

    (3) 節水效益:透過盤管冷凝水回收,導入預水洗室處理外氣,降低既有水洗室 DI 耗水量,提升水資源使用效率。

    (4) 提升 AMC 去除率:結合 Pre-washing + 既有水洗室,形成二道水洗流程,提升 AMC 去除效率,強化無塵室空氣品質。

    (5) 無塵室溫溼度穩定度改善:預水洗設計可先行處理外氣,穩定其焓值與溫溼度參數,進而克服外氣瞬間變化驟烈造成 MAU 供應溫溼度不穩定之異常。

 

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