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​2024 高科技廠房設施國際論壇講師

廖俊智.jpg

Chris Bailey

愛德華先進科技股份有限公司 技術部門

系統工程副總裁

學歷

HND 機械工程學系, University of Hertfordshire, UK

經歷

2016至今: 氫氣循環再生系統研發
1999年 - 現在:開發半導體真空系統,減排和相關設備。
1990 - 1999年:半導體應用真空泵開發
1987年 - 1990年:光學系統開發
1985-1987:柴油燃料噴射開發
1982年 - 1985年:飛機儀表開發

​演講題目

如何透過SubFab設計的典範轉移以實踐永續

摘要

IC積體電路在發展的這 60 多年來,經歷了巨大的發展,例如線寬線距的持續微縮、與3D堆疊等。製程、材料和設備等也隨之產生了許多變化。
然而,晶圓廠和次無塵室(subfab)的設計以及系統的架構,在此期間卻沒有因此而有太大的變化。定義當今晶圓廠的設計系統架構,仍是 30 多年前導入的。
由此,Edwards 希望能探討一種全面性、且可持續的改革設計,橫跨製程到廠務的整體系統,可追蹤氣體分子從供應端到製程,再走到製程後副產物的處理,以及未充分使用或反應完的的化學物質的處理, 以提升整體效率。
另, Edwards將解釋一些創新前瞻的選項,以替代目前晶圓廠廠務系統和設備的管理方式,這些方法可以提升永續性、包括減少能源使用、提高設備可使用性,更可降低設備總擁有成本。我們會討論以下兩個例子 :
例 1. 多個腔體共用真空幫浦及備機策略
例 2. 廢金屬和氣體的回收和循環利用,例如,鎵Ga/鍺 Ge/鎢W/氘 D2/氫H2等等
我們期待透過與產業的合作,實現這些永續的做法!

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