演講主題&摘要

邁向自主化FMCS - 透過智慧公用系統控制驅動良率與永續

隨著半導體晶圓廠持續追求更高的良率、效率與永續發展，廠務監控與控制系統（FMCS）必須進化為一個智慧型、自主化的營運平台，以確保穩定且高效的公用系統供應。進階控制策略——如自適應型先進製程控制（Adaptive APC）、線上公用系統數位分身、製程分析技術（PAT）以及狀態導向控制（State-Based Control - SBC）——可加值整合於現有控制系統之上，顯著提升 FMCS 效能。

自適應型 APC 能穩定且節能地控制關鍵公用系統，例如冷卻水、壓縮空氣、廢氣處理與超純水（UPW），即使在製程負載與環境條件波動的情況下亦能維持效能。若搭配高擬真的線上公用系統數位分身持續優化能源產生與分配，整體系統即形成一個閉環、自我優化的廠務平台，有效降低能耗與排放。另一方面，製程分析技術（PAT）運用即時光譜與多變量分析技術，監控超純水中總有機碳（TOC）與廢氣系統中的氣體成分等關鍵品質指標。當 PAT 整合於控制系統中時，可實現閉環自動調整機制，及早修正偏差，提升公用品質穩定性並保障良率。

同時，狀態導向控制SBC可自動化執行啟動、關機與故障恢復等操作狀態，協調多個子系統以確保操作安全、一致與高效。此方法可降低因操作員經驗差異造成的變異，減少人為錯誤與警報淹沒，並確保最佳作業方式持續落實。

綜合而言，這些技術能提升公用系統穩定性、降低能耗並減少人工作業介入。最終，自主化 FMCS 將有助於提升良率並實現永續營運，是次世代半導體製造的關鍵支柱。